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            半導體級晶體生長爐KX260MCZ-下載申搏sunbet並安裝
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            半導體級晶體生長爐KX260MCZ
            來源:sunbet申博手機版下載 發表時間:2019-03-10      

            Performance  性能

            Typical Ingot Diameter 單晶直徑

            200-400 mm (8-16 in)

            Pull Chamber Door Opening

            副室門尺寸

            508 x 2,362 mm (20 x 93 in)

            Throat Diameter 喉口直徑

            457 mm (18 in)

            Seed Lift Rate 晶升速率

            0-508 mm/hr

            Seed Jog Speed (Nominal)

            籽晶快速提升速率(最大)

            508 mm/min

            Total Crucible Travel 鍋最大行程

            280 mm (19.6 in )

            Crucible Lift Rate 鍋提升速率

            0-254 mm/hr

            Crucible Jog Speed (Nominal)

            鍋快速提升速率(最大)

            50.8 mm/min

            Seed Rotation (Reversible)

            轉速率(可逆)

            0-35 rpm

            Crucible Rotation (Reversible)

            鍋轉速率(可逆)

            0-20 rpm

            Vacuum Pumps Main 主真空

            14,200 l/min (300 cfm)

            (Min. recommended) Aux 輔真空泵

            1,700 l/min (50 cfm)

            半導體級晶體生長爐KX260MCZ